SJT 10097-1991 F-250/1400型立式涡轮分子泵
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87EFCF3375644490980A890DA71EC508 |
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0.15 |
页数: |
7 |
文件格式: |
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日期: |
2009-6-11 |
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Si,中华人民共和国电子工业行业标准,SJ/T 10097--91,F一,250,1400,型立式涡轮分子泵,1991-04-08发布1991一07-01实施,中华人民共和国机械电子工业部发布,中华人民共和国电子工业行业标准,F一,250,1400,型立式涡轮分子泵SJ/T 10097-91,主.内容与适用范围,本 标 准 规定了F-250/1400型立式祸轮分子泵的产品分类、技术参数、技术要求、试验方,法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等要求,本 标 准 适用于F-250/1400型立式涡轮分子泵(以下简称“泵”).,2 弓1用标准,GB 1 91 包装储运图示标志,GB 5 080 .7 设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时,间 的验 证 试 验 方 案,GB 6 07 0.4 活套真空法兰,GB 6 58 7.1-6587.6 电子侧量仪器环境试验,GB 7 77 2 变容真空泵噪声试验方法,GB 7 77 3 变容真空泵振动试验方法,GB 7 77 4 涡轮分子泵性能试验方法,GB 1 14 91 立式涡轮分子泵通用技术条件,SJ 3 1 92 立式涡轮分子泵型式与基本参数,SJ 1 6 58 ^-166。铜丝密封超高真空法兰,JB 8 产品标牌,3 产品分类,泵 的 结 构型式与技术参数应符合SJ3 192和本标准的规定,3.1 结构型式,3.1.1 泵由主机和电漂构成,3.1.2 主机为立式结构,主要由泵体、涡轮组件、电机、润滑系统和烘烤装置等组成,3.1.3 电源为电子变频电源,3.2 型号,中华人民共和国机械电子工业部1991-04-08批准1991-07-01实施,一 1 一,S3/T 10097- 91,泵的型号组成和含义如下,F^ 25 0/ 14 0 0,体积流率,进气口通径,立式涡轮分子泵代号,技术要求,4.1 技术参数,a. 体 积 流率(对干燥空气)1400L/s;,b. 极 限 压力1。一毕a;,c. 压 缩比对N} 10';,对 H z 10 4;,d. 起 动时间<10min;,e. 振 动<0.3 pm;,f. 噪 声<70dB;,g. 冷 却水耗量<60L/h,4.2 其他参数,a. 进 气口通径250mm;,b. 出 气口通径63mm;,c. 电 源输入电压(50Hz)2 20V士10%;,d. 电 源消耗功率<440VA;,e. 电 源起动功率<2000VA;,f. 重 量主机<65kg;,电源 < 25 kg ,4.3 一般要求,4.3.1 泵的技术要求应符合GB 11491和本标准4.1,4.2条的规定,并按经规定程序批准的,设计图样和技术文件制造.,4.3.2 泵在下列环境条件下应能正常工作:,a. 环 境温度0-400C;,b. 空 气相对湿度<85% ;,c. 冷 却水进水温度<250C,4.3.3 泵的进气口法兰及密封圈应符合SJ 1658-1660的规定.,4.3.4 泵的出气口法兰及密封圈应符合GB6 070.4 的规定,4-3.5 为了防止异物进入泵内,泵的进气口应设置不锈钢过滤网,并加以固定,4.3.6 泵安装时,应使主机的轴线垂直于水平线。其垂直度偏差应小于50,4.3.7 当被抽系统振动较大或被抽系统对振动要求特别小时,泵与被抽系统间应设置减振装,置,4.3.8 泵应采用饱和燕汽压不高于3 X 10-`Pa(在常温下)的专用润滑油润滑轴承,并设置油,量指示标志,一 2 一,SJ/T 10097-91,4.3.9 泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体.泵在正常工作时不允许有强烈振动和电,磁场干扰,4.3.10 为了除气,对泵体、测试罩和真空测量规管进行洪烤时,其供烤温度不得超过以下规,定:,a 泵 体120'c;,b. 测 试罩350'C;,c. 测 量规管400'C,4.3.11 泵所配置的前级泵应符合下列要求:,压力 <1OPa;,体 积 流 率)15L/s,4.3.12 泵应在4.3 .11条规定的前级压力下启动和工作。泵在正常工作时应防止暴露大气,4.3.13 电源输出的三相线电压应对称,其不对称性不得超过士0.5V ,4.4 安全要求,4.4.1 绝缘电阻,泵 的 电 动机和烘烤装置对泵体、电源线路对箱体,应有可靠的绝缘措施,其绝缘电阻不小,于2Mn,4.4.2 水流保护装置要求,冷 却 水 流量应符合设计图样要求,且具有保护装置,4-4-3 电流保护装置要求,电源 输 出 电流不应大于设计图样规定值,且有保护措施,4-5 可靠性要求,4.5.1 平均无故障工作时间(MTBF),主 机 和 电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间(MTBF)应达到以下要求:,主机 )8000h;,电源 )2000h.,4. 5-2 连续运转试验,主 机 和 电源配套试车后,应连续进行500h的运转试验,4.6 产品成套性要求,a 泵 主机1台,b. 电 源装置1台;,c. 备 附件1套;,d 随 机文件,产 品 技 术 说 明 书 1份;,产 品 合 格 证 1份;,装 箱 单 1份;,备 附 件 清 单 1份,试验方法,5.1 一般要求的检查,泵 的 一 般要求用常规仪器及方法检测,一3 一,SJ/T 10097-91,5.2 体积流率、极限压力和起动时间的测试,体积 流 率 、极限压力和起动时间的测试按GB7 774规定进行,5.3一压缩比的测试,压 缩 比 的测试除按GB 7774规定外,测试氮气(Nz)的压缩比时,还应采用具有足够分辨,率、质量数为1-100的质谱分压计进行监测,5.4 ……
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